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大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝解析

文章作者：萊特萊德發(fā)布時間：2022-08-10

大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備顧名思義主要應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)用水，該設(shè)備引進國外進口元件，結(jié)合國內(nèi)外制水經(jīng)驗，選用先進的反滲透技術(shù)和EDI技術(shù)相結(jié)合，有效去除水中的各種雜質(zhì)。大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備具有出水水質(zhì)好，操作簡單，制水效果明顯等特點。

大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝

1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光樹脂→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光樹脂→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)

3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(新工藝)

4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)

5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備特點

1、整體化程度高、易于擴展、增加膜數(shù)量即可增加處理量。

2、自動化程度高，遇故障立即自停，具有自動保護功能。

3、膜組件為復(fù)合膜卷制而成，表現(xiàn)出更高的溶質(zhì)分離率和透過速率。

4、能耗低、水利用率高、運行成本低。

5、結(jié)構(gòu)合理，占地面積少。

6、先進的膜保護系統(tǒng)，在設(shè)備關(guān)機，淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈，延長膜壽命。

7、系統(tǒng)無易損部件，無須大量維修，運行長期有效。

8、設(shè)備設(shè)計有膜清洗系統(tǒng)用阻垢系統(tǒng)。

萊特萊德專注于水處理技術(shù)十余年，積累了豐富的水處理經(jīng)驗。系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，集成電路用超純水設(shè)備具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。

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